مقاله بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD
نوشته شده به وسیله ی علی در تاریخ 95/7/23:: 6:4 صبح

مقاله بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD تحت pdf دارای 8 صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد مقاله بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD تحت pdf کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
این پروژه توسط مرکز مرکز پروژه های دانشجویی آماده و تنظیم شده است
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD تحت pdf ،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن مقاله بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD تحت pdf :
سال انتشار: 1376
محل انتشار: اولین کنگره سالانه انجمن مهندسین متالورژی ایران
تعداد صفحات: 8
نویسنده(ها):
حامد کیپور – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
محمود حیدرزاده سهی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
حمید کاشانی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
مجید لمسه چی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
چکیده:
دراین پژوهش نقش دما بررسوب گذاری TIN به روش CVD دریک راکتور افقی بررسی گردید نتایج بدست آمده نشان میدهد که با افزایش دما سرعت رسوب گذاری افزایش می یابد درمحدوده دمایی 960 تا 1130 درجه سانتیگراد سرعت انجام واکنش درسطح کنترل کننده سرعت رسوب گذاری است و انرژی اکتیواسیون لازم برای انجام واکنش حدود 96 کیلوژول برمول است نتایج بدست آمده همچنین نشان میدهد که با افزایش دمای زبری سطح و اندازه دانه رسوب TIN کاهش و سختی پوشش افزایش می یابد

کلمات کلیدی :